DLC-timanttimainen pinnoite on metastabiilinen amorfinen ohutkalvo, jolla on timantin ja grafiitin korkealaatuisia ominaisuuksia ja jolla on edut hyvästä kovuudesta, lämmönjohtavuudesta, matalasta kitkakerroimesta, erinomaisesta sähköeristyksen suorituskyvystä, korkeasta kemiallisesta stabiilisuudesta jne., Ja sitä käytetään laajasti koneiden valmistuksessa, biomediciinissä, elektronisissa laitteissa ja muissa kentäissä. DLC -pinnoite valmistetaan pääasiassa fysikaalisen höyrynvaiheen kertymismenetelmällä ja kemiallisen höyrynvaiheen kertymismenetelmällä, ja se valmistetaan erityisellä kertymislaitteella. Seuraava on lyhyt johdanto viiteen osaan, jotka muodostavat päällystyslaitteen.
1. Lämmitys- ja vedenjäähdytysjärjestelmä
Lämmitysjärjestelmä ja vedenjäähdytysjärjestelmä jakautuvat tasaisesti kertymishuoneeseen, ja lämmityslämpötila, nopeus ja veden tilavuus ovat hallittavissa ja säädettäviä, ja vastaava hälytyslaite on asennettu; Pyörivä järjestelmä sijaitsee keräyskammion alaosassa ja se eristetään eristävä keramiikka, ja pyörimisnopeus on hallittavissa ja säädettävissä.
2. tyhjiöjärjestelmä
Tyhjiöjärjestelmä koostuu mekaanisesta pumpusta, juurpumpusta, diffuusiopumpusta ja vastaavista ohjausventtiileistä ja mittauselementeistä, jotka voivat vapaasti vaihtaa korkean ja matalan tyhjiön välillä prosessivaatimusten mukaisesti.
3. Kaasun syöttöjärjestelmä
Kaasun syöttöjärjestelmä on asetettu kertymiskammion päälle, ja kaasulajikkeisiin kuuluu H2, N2, AR, CHA, C2H2 ja Si: tä sisältävä kaasu, ja kaksi rajapinta on varattu kertymiskammion yläosaan helpottamaan muiden kaasujen lajikkeiden lisäämistä tulevaisuudessa.
SI: tä sisältävän siirtymäkerroksen saamiseksi SIH4: ää käytetään yleensä materiaalikaasuna, mutta SIH4 on vaarallisempi, joten valitsemme vähemmän vaarallisen Si-pitoisen kaasun SI-lähteenä päällystysprosessoinnissa.
4. pinoamisjärjestelmä
Laitteissa on kaksi pinoamisyksikköä, PVD ja PCVD, PCVD-yksikön ensisijainen tarkoitus on timanttimaisten (DLC) kertymiselle. Pulssimodulaatiovirtalähde on parametrit säädettävä toisensa jälkeen, parametrien säätämisen jälkeen, DLC-pinnoitte eri kovuus ja paksuus voi olla. Tila, se voidaan päällystää myös monimutkaisessa työkappaleessa; PVD-yksikön ensisijaiset aikomukset ovat: (1) eri substraateille, eri kohteet voidaan korvata eri kohteilla, ja voidaan kehittää erilaisia liimakerroksia tai metalliastiat DLC-pinnoitteita, jotka sisältävät erilaisia elementtilajikkeita; (2) Kohteen korvaamisen jälkeen voidaan muodostaa erilaisia komposiittipinnoitteita "funktionaalisen kerroksen + DLC".
5. Sähköohjausjärjestelmä
Sähköohjausjärjestelmä omaksuu PLC: n täydellisen aktiivisen ohjauksen, mukaan lukien isäntätietokone, PLC -ohjelmoitava ohjain, sopeutumismuuttaja, ohjausvirtalähde, tyhjiön ohjausvirtalähde ja mittausjärjestelmä, ilmansyöttövirtalähteen tarjonta, lämpötilanhallintajärjestelmä, veden havaitsemisohjausvirtalähteen jne. Ennen kuin uunin avaaminen, pinnoitusprosessi muokataan ja arkistoidaan prosessin muokkausliittymässä ja vaadittua prosessia, joka avattiin, ja laitteiden toimintaa ja vaadittua prosessia, joka on avannut, ja laitteiden toiminnan käyttöprosessi on otettu käyttöön ja varustettua toimintaa. tarkkailtu reaaliajassa. Jos on ongelma, laite tekee aloitteen hälytykseen, ja hälytystason mukaan laite valitsee "odotus" -tilan tai pysähtyy suoraan ja jatkaa toimintaa hälytyksen poistamisen jälkeen. Kunkin uunin toimintatiedot ja hälytystiedot tallennetaan aktiivisesti tietokoneeseen helpon viitteen saavuttamiseksi. Vaatimusten mukaan laitteet voidaan vaihtaa täysin manuaaliseen toimintaan, ja päällystysparametrit voidaan säätää pääkäyttörajapinnassa pinnoitusprosessin aikana.